GTHC-8空心阴极霍尔离子源
GTHC-8空心阴极霍尔离子源
凯发一触即发空心阴极霍尔源具有温升小、吸收小、离子束流崎岖均可、单次/多次使用寿命长等特点，适用于红外、塑胶、光纤、玻璃AR/IR的镀膜。
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GTHC-8空心阴极霍尔离子源
产品介绍
设备介绍：
凯发一触即发空心阴极霍尔源具有温升小、吸收小、离子束流崎岖均可、单次/多次使用寿命长等特点，适用于红外、塑胶、光纤、玻璃AR/IR的镀膜。
设备主要规格参数：
| 型号 | GTHC-8 |
|
阳极口径（mm） |
80 |
|
阳极电压（V） |
300 |
|
阳极电流规模（A） |
0.5-10 |
|
发射电流（A） |
12.5 |
|
KEEP电流（mA） |
2000 |
|
中和比E/B（%） |
100-150 |
|
源头GAS1-O?（sccm） |
0-100 |
|
源头GAS2-Ar （sccm） |
0-50 |
|
中和器GAS3 -Ar（sccm） |
6-12 |
|
连续使用时间（h） |
≥150 |
|
推荐使用机型 |
500-2250 |
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GTHA-8灯丝霍尔离子源
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磁控溅射真空镀膜设备
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