第六十六章 NDIR乙烷气体传感器中滤光膜的研制
本期主要针对NDIR乙烷气体传感器中滤光膜进行研究 ，结合甲烷与乙烷气体分子的红外吸收光谱 ，凭据红外探测器接收到的光能量以及系统的灵敏度确定了窄带滤光片的技术参数 。选择Ge作为高折射率质料 ，Nb2O5作为低折射率质料 ，利用拆分技术原理 ，大都波结构并借助Tfcalc软件完成了滤光膜的双面设计 。接纳直流磁控溅射对薄膜样品进行制备 ，研制的窄带滤光膜在中心波长6.7μm处的透过率为72.09% ，FWHM为301nm ，2.5~6.3μm和7.1~10μm的平均透过率为0.13%和0.01% ，附着力良好 ，满足乙烷探测系统的使用要求 。
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2024/08
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